技术编号：9548578
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 用于在此所描述的结构设计的一种优选的应用是例如用于检测加速度、转速、磁 场或者压力的传感器部件的实现。构件检测运些测量参量借助MEMS并且将其转换成电信 号。传感器部件大多还包括至少一个用于处理并且分析处理测量信号的ASIC构件。所述 部件可W用于不同的应用，例如在车辆领域和消费领域中。在此，特别重要的是在高的功能 集成时的部件小型化。因为在此放弃忍片的重新封装，所W垂直混合集成部件在所述小型 化方面证实为特别有利。替代地，在第二层安装（2nd-Leve...
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