技术编号：9548579
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 由现有技术已知用于测量加速度和转速的微机械传感器。同样已知的是，加速度 传感器和转速传感器构造为集成在一个共同的忍片上的构件。已知的加速传感器和转速传 感器具有包含在至少部分真空的空桐中的活动元件。在此，在转速传感器中尤其期望低的 空桐压力。已知的是，转速传感器的空桐设置有吸气元件（Getterelementen)，w便实现并 且在传感器元件的使用寿命上维持低的空桐压力。发明内容 本发明的任务在于，提供一种微机械构件。所述任务通过具有权利要求1的特征 的...
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