技术编号：9548580
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。术语微机电系统(MEMS)或微机械系统/结构通常用以指代结合了电子和机械组件的小的集成器件或系统。当聚焦于微机械部分时，术语“微机械系统”可以用来描述小的集成器件或系统，其包括了一个或多个微机械元件并且可能而非必需地包括电气组件和/或电子组件。微机械系统可以用作例如致动器、换能器或例如压力传感器的传感器。压力传感器如今为汽车电子中的大宗产品和消费电子产品。对于很多的这种应用，使用了其中在专用集成电路(ASIC)上集成了传感器的系统。例如，英飞凌科技公司(I...
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