技术编号：9549382
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在各种显示装置(如液晶显示装置、有机发光二极管显示装置)中，阵列基板都是重要的部件。而在阵列基板中，包括大量的薄膜晶体管，故薄膜晶体管的性能对阵列基板的性能有着重要的影响。但现有的金属氧化物薄膜晶体管、多晶硅薄膜晶体管的性能仍然达不到要求。发明内容本发明针对现有的薄膜晶体管性能不佳的问题，提供一种综合性能性能良好的薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板。解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种薄膜晶体管的制备方法，其包括形成由石墨烯构成的栅极的步骤，形成由氧化石...
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