技术编号：9549548
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。CIS (Contact Image Sensor，接触式传感器件)是一种光电转换器件，它采用一列内置的LED发光二极管照明，因该部件体积小，重量轻，被广泛用于含摄像功能的智能手机等移动设备中。这种接触式传感器的摄像功能对金属污染特别是工作区污染而导致的漏电增加，白点增多特别敏感，从而导致良率低下，甚至大批晶圆报废。具体地说，在接触式传感器使用日益广泛的同时，存在着以下的一些问题1)接触式传感器对金属特别是重金属污染极其敏感；而金属污染测试周期长且干扰因素...
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