柔性薄膜晶体管及其制造方法技术资料下载

技术编号:9549601

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TFT-IXD因其体积薄、重量轻、画面质量优异、功耗低、寿命长、数字化和无辐射等 优点,在各种大、中、小尺寸的产品上广泛得到应用,几乎涵盖了当今信息社会的主要电子 产品,如电视、电脑(台式和笔记本)、手机、PDA、GPS、车载显示、仪器仪表、公共显示和虚幻 显示等。由于全球投入了大量的人力、物力和财力,目前形成了巨大的市场规模。 薄膜晶体管是指在衬底上沉积一层半导体薄膜,通过光刻、刻蚀等技术制作出源、 漏极,栅极及管体而成,它由栅绝缘层、有源层、栅极、源/...
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