技术编号:9549692
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。压电复合材料是超声探头的核心部件,在工作过程中要完成声-电和电-声之间的信号转换。为了降低表面电极对压电复合材料在工作过程中的信号和振动模式干扰,低电阻率、均匀、光滑并且附着力好的表面薄膜电极对于提高超声探头的性能具有重大意义。人们常用的表面电极包括Ti,Pt,Au等材料。它的主要优点是能抗高温氧化,电阻率小,大规模集成电路相容性好,但是它们的缺点是结构与聚合物和钙钛矿结构的PZT陶瓷完全不兼容,生长的金属薄膜既不能外延生长在复合材料上,很难生长出单晶结构...
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