技术编号：9550108
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 可以期待将能够改变激光振荡波长的波长可调激光器应用于各种领域，包括通 信、感测和成像，并且因此近年来对其进行了积极的研究和开发。 作为这样一种波长可调激光器，已知所谓的MEMS-VCSEL结构，其中通过微机电系 统（MEMS)技术控制垂直空腔表面发射激光器（VCSEL)的激光振荡波长。 -般通过在一对诸如分布式布拉格反射镜（DBR)的反射镜之间夹入活性层来形 成VCSEL，并且激光根据由反射镜之间的光程长度确定的空腔长度以一种波长振荡。在 MEMS-VC...
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