一种新型氯硅烷尾气处理装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9556315

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伴随着光伏产业的快速发展,世界多晶硅产量飞速上涨。在多晶硅生产中要排放大量废气废液,这些废气中含有大量的氯娃烧成分,其主要包括二氯二氣娃、三氯氣娃、四氯化硅。对于上述废气一般采用碱液喷淋的办法进行处理。尾气与碱液发生以下反应 氯硅烷潮湿环境下易于产生二氧化硅,造成设备或管道堵塞,并生成氢气给设备的清理造成很大安全风险。以三氯氢硅为例,其反应方程式如下SiHC13+3H20=H2Si03+3HCl+H2H2Si03=H20+Si02 现有尾气淋洗塔尾气进...
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