用于多个喷嘴的利用单个驱动信号的微流体系统的制作方法技术资料下载

技术编号:9557824

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微流体系统包括各种导致流体离开裸片的喷嘴的喷射技术。这些技术包括热、压电和超声波等等。一个示例是热喷墨打印头,其具有精确的喷嘴控制以将一滴墨传递至一张纸上的非常精确的位置。为了实现该精确性,每个喷嘴的控制与单个、专用的电气连接相关耳关。许多这些系统具有这样的用于裸片中的每个喷嘴的专用外部电气连接,使得如果存在N个喷嘴,则有N+1个外部电气连接。额外的连接被耦合至接地。外部电气连接可以是耦合至裸片的键合焊盘的柔性电线导管。这些系统还经常具有在裸片上的针对每个...
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