技术编号：9562176
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过使手动把手旋转，使阀芯移动而与阀座抵接，从而将输入口和输出口隔断的手动开闭阀。背景技术在半导体制造工序中，供给工艺气体等的设备广泛地使用操作者通过手动能够将气体供给可靠地隔断的手动开闭阀。例如，在通常运转时想要停止工艺气体的供给的情况下，或在维修时将配管等拆下而作业时避免使工艺气体流动的情况下，使用手动开闭阀。在专利文献1中公开了一种通过手动把手的旋转，利用螺纹结构使阀芯向阀座方向移动的机构、将阀芯向与阀座抵接的方向施力的施力弹簧等的结构。在...
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