技术编号：9563746
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。许多应用需要使用由高能量的激光束形成的均匀线图像。一种这样的应用是激光热处理(laser thermal processing ；LTP)，在本中也被称作激光尖峰退火(laserspike annealing ；LSA)，或简称为激光退火(laser annealing)，当形成有源微电路器件如晶体管时，在半导体制造中利用该激光退火以激活半导体晶片的选择区域中的掺杂物。—种类型的激光退火使用由激光束形成的扫描线图像来加热半导体晶片的表面至一温度(退火温度)...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。