用于光刻的掩模、制造其的方法和利用其制造基底的方法技术资料下载

技术编号:9563854

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近来,已经开发了重量轻和尺寸小的显示设备。阴极射线管(CRT)显示设备由于性能和有竞争力的价格已经得以使用。然而,CRT显示设备会相对大且缺乏便携性。因此诸如等离子显示设备、液晶显示设备和有机发光显示设备的显示设备由于尺寸小、重量轻和功耗低已经受到高度关注。随着液晶显示设备的分辨率增大,图案化的改善的精确度也会提高。然而,图案化的精确度由于光刻机或掩模的分辨率而受到限制。另外,因为液晶显示设备的结构变得更加复杂,所以可能难以在厚度不均匀的基底上形成精确图案...
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