技术编号：9565190
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。二极管阴极金属化，是指在二极管的阴极淀积金属薄膜，使二极管正向导通的过程。现有技术中，二极管阴极金属化结构的形成主要是通过蒸发方式，在二极管的阴极表面依次淀积金属T1、金属Ni和金属Ag，分别形成粘附层、阻挡层和导电层。同时，现有技术中，为了提高金属层与半导体之间的接触效果，在淀积金属Ti之间，会先淀积一层金属A1，A1与Si的接触效果好。由于现有技术中，二极管阳极已经进行了工艺，二极管阴极金属化的退火工艺不能在高温下进行，所以杂质激活率低，欧姆接触电阻大...
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