技术编号:9565774
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体行业中晶圆的处理需经过不同的工艺单元甚至不同的设备,其中机械手承担晶圆传送的任务,若晶圆处理所用的时间不同、存在快慢之分,那么就不能直接进行传送,一般需要一个中间环节,来缓存及传送晶圆。在现有技术中,类似功能的装置中一般存在两个供晶圆缓存的晶圆盒,晶圆盒的位置是固定的,或按照设定的角度固定在同一平面上,或上下布置,这样就增加了机械手取送晶圆的工位,不仅增加了机械手的负担,也影响工艺时间。发明内容为了减少机械手向晶圆缓存装置中取送晶圆的工位,减轻机械手...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。