表面改质银钯合金线的结构的制作方法技术资料下载

技术编号:9565833

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本发明设及适于半导体装置中使用的IC忍片电极与外部引线等的基板连接的表 面改质银钮合金接合线,尤其是设及车载用途、功率半导体、高速设备用途等在高溫环境下 使用的超声波连接用接合及凸块线、或者即使W15ymW下的极细线也可使用的无空气焊 球(FAB)用表面改质银接合线。背景技术 自W往W来,已开发出各种各样的种类的将半导体装置的IC忍片电极与外部引 线相连接的银钮合金接合线。例如为"使Ag含有1~30重量%的?(1而成"的接合线(日 本特开昭57-0218...
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