半导体结构及内连线结构形成方法技术资料下载

技术编号:9565844

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在半导体结构中,中介窗是用以连接不同层的导线。在制造过程中,集成电路晶圆可能会产生各种缺陷。为了减少这些缺陷所导致的影响,以及未来可能发生的影响,可先进行预定参数的晶圆测试以确保作业方式。例如,工艺及材料缺点(weakness)可借由在晶片制造的期间或结束时,施加一组应力测试来确定。应力测试可以帮助控制半导体产品中早期寿命失效的发生率,例如可以模拟产品在中期或长期操作的情形下的影响。借由预期或加强...
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