存储单元阵列及其单元结构的制作方法技术资料下载

技术编号:9565863

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使用平面单元晶体管的传统的ROM单元阵列固有地表现为衬底的平面上的巨大的水平封装尺寸,因此在存储单元的按比例缩小方面施加了实际限制。因此,提出了存储单元阵列及其单元结构。发明内容根据本发明的一个方面,提供了一种半导体只读存储器(ROM)单位单元结构,包括单元基底区域,限定出单元边界,单元基底区域包括布置在衬底上的具有宽形块状轮廓的覆盖式0D层,并且覆盖式0D层限定出被布置为与接地端(Vss)选择性连接的连续共用源极节点;漏极焊垫,设置在0D层之上,漏极焊垫...
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