技术编号:9566729
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及电机领域,尤其涉及一种提升磁浮平面电机线圈电流驱动器控制精度 的方法。背景技术 动铁式磁浮平面电机可W极大简化平面运动机构,减轻运动质量,动子不产生热 量且无电缆管线干扰,可实现无摩擦、无磨损的高速精密运动,是目前大行程精密运动系统 研究的热点,其结构如图1所示。由于磁浮电机为6自由度悬浮运动,且为多线圈兀余驱 动,其解禪控制计算非常复杂。应用于IC制造装备领域的磁浮平台,其控制精度要求达到 亚微米级甚至纳米级。为获得高的控制特性1)必须按照系...
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