技术编号:9566804
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。作为振荡器、陀螺仪传感器等电子器件,已知有具备具有多个振动臂的音叉式振子的电子器件。例如,专利文献1中记载的振子具有形成有振动臂的单晶硅基板、基准电极、压电体、驱动电极和检测电极。在该振子中,在基准电极与驱动电极之间施加电压,由此使压电体伸缩,使振动臂沿单晶硅基板的厚度方向振动。在这样的状态下,在向振动臂的长边方向施加角速度时,会在与振动臂的振动方向垂直的方向上产生科里奥利力。通过使因该科里奥利力而在压电体中产生的电荷作为信号从检测电极输出,能够检测所施加...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。