技术编号:9568102
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。迄今为止,已经提出了一种高纯度的碳化硅粉体的制造方法,其通过将在常温下为液体的硅源(具体地,硅酸乙酯)、在常温下为液体的碳源(具体地,酚醛树脂)、和能够溶解碳源的催化剂(具体地,马来酸)混合。具体地,碳化硅粉体通过将含有硅源、碳源和催化剂的混合物加热来生产(例如,专利文献1)。在使用马来酸作为催化剂的情况下,与使用甲苯磺酸作为催化剂的情况相比,包含于碳化硅粉体中的硫磺的含量低。因此,使用马来酸作为催化剂确保了适用于其中硫磺用作杂质的半导体领域的碳化硅粉体的...
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