技术编号:9568255
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 使用形成在具有绝缘表面的衬底上的半导体膜形成晶体管的技术受到关注。该晶 体管被广泛地应用于如集成电路和显示装置等的半导体装置。作为可用于晶体管的半导体 膜,已知硅膜。 作为用作晶体管的半导体膜的硅膜,根据其用途使用非晶硅膜或多晶硅膜。例如, 在包括于大型显示装置中的晶体管的情况下,优选使用非晶硅膜,该非晶硅膜可以利用在 大面积衬底上形成薄膜的已有技术而制造。另一方面,在包括于相同的衬底上形成有驱动 电路的高功能显示装置中的晶体管的情况下,优选使用多晶硅膜...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。