技术编号：9573139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在基板类产品，如玻璃、液晶面板、半导体晶圆等的生产过程中，基板通常被放置在用于生产设备操作的容器中，按照不同生产工序的要求，基板会在不同的生产设备之间进行转运，这种转运工作通常是由搬运系统来完成的。在生产和运输过程中，因为设备振动或操作不当等原因，基板在容器中可能会出现不同程度的位置偏移，这样采用搬运系统将基板从容器内移出时，基板在搬运系统的末端执行器上的位置会发生偏移，如果不及时校正，会造成产品质量不良甚至基板或设备损坏等严重后果。但是，现有技术中的检测...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。