技术编号：9573332
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 微机电系统（MEMS)在各种情景和应用中被使用。MEMS可以是非常小的，诸如具 有0. 02至1. 0mm范围的侧向尺寸，并且可以被用在包括感应（例如，压力传感器、陀螺仪、 加速度计等）、致动、开关和其它的许多应用中。MEMS的商业应用包括喷墨打印机、车辆气 囊系统、麦克风以及包括显示器等其它应用。 在显示器中使用的常规的MEMS通常包括可以在平板显示器中形成个体像素或阵 列的可移动导电薄膜。该可移动薄膜通过蚀刻或者从该结构中移除覆盖氧化硅的牺牲层而 形...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。