技术编号：9573393
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及用于制造在制造多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化娃衬的碳化娃材料、粘合材料和接合部设计。背景技术由于出色的质量和热量传递、增加的沉积表面和连续的生产，含娃气体在流化床中的热解分解是用于生产光伏和半导体工业使用的多晶硅的有吸引力的方法。与Siemens类型的反应器相比，流化床反应器以一部分能量消耗提供了明显更高的生产速率。流化床反应器可以被高度自动化以显著降低劳动力成本。在流化床反应器中通过包括含硅物质例如甲硅烷、乙硅烷或卤代硅烷例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。