技术编号:9576076
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。蓝宝石晶体是超高亮度的蓝、白光LED发光材料GaN最常用的衬底材料,而GaN磊晶的晶体质量与所使用的的蓝宝石衬底表面加工质量密切相关,尤其是图形化衬底与晶片的表面形貌、翘曲程度联系密切,同时,晶片的翘曲程度过大,会在平片做GaN磊晶时,平片与外延薄膜脱落,PSS难以聚焦,影响外延品质。在蓝宝石衬底的切割,双面研磨以及抛光过程中,尽管部分的加工应力会在下一道加工工序释放,但是这种应力的释放时无序释放,同时未释放的加工应力会在表面聚集,影响蓝宝石晶片的翘曲程度...
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