永磁同步直线电机驱动的自动控制显微镜载物平台的制作方法技术资料下载

技术编号:9578622

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随着科技水平的提高,显微镜越来越自动和智能化,对载物台的自动控制需求也逐步提高;传统采用伺服电机或步进电机的显微镜载物台因结构和驱动方式的原因(需要丝杆、螺母等)会产生较严重的回程误差,降低观测精度,影响使用效果。发明内容本发明的目的是提供一种精度明显优于传统步进电机,直接驱动载物台运动,无需多余的机械结构,无回程差,速度稳定性显著提高的采用永磁同步直线电机驱动的自动控制显微镜载物平台。本发明包括载物台、第一永磁同步直线电机、第二永磁同步直线电机、反馈装置...
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