技术编号:9580642
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体设备控制领域,尤其涉及一种半导体设备腔室状态显示控制的方法及装置。背景技术通常半导体设备控制软件系统由下位机实时控制程序和上位机Windows界面控制程序组成。下位机程序通过RS232/485、Socket和DeviceNet等10方式与硬件进行通信,是设备控制的实现者和直接实施者。上位机程序一方面通过界面接收用户的指令并发送给下位机程序从而完成对硬件设备的控制;另一方面获取下位机中的数据,并通过模拟动画或图形控件等方式直观的显示在界面上,...
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