技术编号:9580657
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在半导体专用设备制造过程中,实现半导体的自动取、放和自动传输是一项关键技术。在现代化的生产设备中,常见的对半导体的抓取装置有夹持式抓取装置、真空吸盘吸附式抓取装置等。其中,由于夹持式抓取装置容易造成半导体(例如超薄晶片)的损坏,因此,真空吸盘吸附式抓取装置受到更多厂家的青睐。在实际操作中,需要使真空吸盘与放置半导体的工作台面保持一定的平行度,而工作台为耗材,容易磨损,会引起工作台面的角度变化,在现有技术中,为了调整真空吸盘与半导体工作台面的平行度,需要通过...
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