技术编号：9583010
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在利用化学气相沉积法（W下，也称为"CVD法"）等制造碳纳米管（W下，也称为 "CNT")时，有时在制造炉内会附着由原料气体中包含的碳等构成的碳系副产物下，也 称为"碳垢"）。作为除去运样的碳垢的方法，已知有专利文献1~3中记载的方法。 在专利文献1中记载了向CNT的制造中使用的反应管内供给蒸汽从而将碳垢气化 的方法。在专利文献2中记载了向碳纤维的制造中使用的反应炉内导入二氧化碳，通过使 碳垢和二氧化碳反应，使碳垢成为一氧化碳气体而排出的方法。在专利文献...
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