技术编号：9583711
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开内容的实施方式涉及流量比控制器，更为特定而言，本公开内容的实施方式涉及质量流量控制器的管理。背景用于半导体处理腔室的气体输送系统利用流量分流的方法以改善在多个-注入点或共享的腔室架构中的混合比的精确性、可重复性，及可再现性。流量分流可在许多应用中显著地减少气体输送系统的成本。流量比控制器(FRC)可为有效的流量分流的装置，但该流量比控制器一般非常复杂。FRC被广泛地使用于半导体工业中以将气体或气体混合物分散至在处理腔室中的不同的区域。然而，FRC经常...
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