技术编号：9590588
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的微机械传感器。背景技术 普遍已知所述微机械传感器。微机械传感器例如用于探测加速度和/或转速，其 中所述微机械传感器具有衬底和可相对于所述衬底运动的硅结构。 所述可运动的硅结构例如包括两个可运动的质量块，它们沿着驱动面反向平行于 (antiparallel)彼此地运动，其中为了确定微机械传感器的转速容性地探测两个质量块从 驱动面出来的偏转运动。在此，驱动面可以基本上平行于或者垂直于衬底的主延伸面定向。 所述可运动...
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