技术编号：9590591
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS (Micro Electromechanical System,微电子机械系统)是基于半导体制造技术发展起来的，是集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路等为一体的微型机电系统，相对于传统的机械系统，其具有尺寸小、控制精度高，并与硅集成电路技术兼容，性价比闻。在MEMS器件的制造工艺中，需要衬底进行横向的腐蚀，以形成所需的悬臂梁或衬底内空腔结构，而后，对空腔结构进行材料的填充。空腔的刻蚀是一个重要的工艺步骤，空腔的刻蚀是后续填充以及悬臂梁等结构...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。