技术编号：9591681
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 光刻胶是一类可以通过光照将特定图像转移到特殊基底上的光敏膜。通过光分解 或者光交联形成正或负图像。具体过程是将光刻胶涂覆在基底上，透过有图案的掩膜或光 罩将涂层暴露在诸如紫外光、近可见光的活化能源下，在光刻胶图案中形成潜像。对于活化 辐射，光罩有不透明的区域和透明的区域，确定了需要转移到下面基底的图像。通过将光刻 胶涂层中的潜像图案显影，得到了三维立体图像。 光生酸剂是光刻胶体系中的重要组分，光生酸剂是20世纪80年代被开发出来的 一种高效化学增幅剂。它...
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