模块化、可扩展型mems惯性测量单元的制作方法技术资料下载

技术编号:9595605

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随着民用产品智能化、无人化、自主化的深入发展,对小型化、低成本惯性测量组合的需求越来越大。采用MEMS惯性敏感器件集成而来的惯性测量单元在小型化和低成本方面有着无可替代的优势。然而,传统的MEMS惯性测量组合采用的焊线形式和印制板直立焊接的方式不但精度无法保证,而且高度定制化、可扩展性差、装配和维修的难度大、可靠性差、不足以在高振动和冲击的环境下存活。文献“申请公开号是CN104729505A的中国发明专利”公开了一种MEMS惯性测量单元。该MEMS惯性测...
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