技术编号：9595719
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。业内习知，现有M0CVD设备外延片测温仪探头的安装位置是固定的，如果托盘所放置的晶圆片的位置和数量发生变化，由于探头位置固定，则探头极有可能因测量不到外延片上的的正确位置而导致测量数据不准确，从而影响对M0CVD反应腔室的实际监控。发明内容本发明的目的在于克服现有技术的不足与缺点，提供一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装置，能有效实现对测温仪安装位置的无级精确调节。为实现上述目的，本发明所提供的技术方案为一种用于调节外延片测温仪探头位置的无级可调装...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。