全光纤式设计的器件微米尺度温度分布的测量方法及系统的制作方法技术资料下载

技术编号:9595728

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随着工业界对电子器件性能需求的提升,其元器件的尺寸不断减小,微米、纳米电 子器件已经广泛应用于各种大规模集成电路。这种小尺寸的电子器件电阻阻抗通常比较 大,使得焦耳热效应不可忽略。电子器件通道内的局域阻抗非常小的变化,就有可能在电子 器件上产生局部高温。局部高温区域如果不被发现和处理,可能会导致器件性能退化或损 伤。为了避免对器件的灾难性破坏,准确获得局部高温区域的位置至关重要。但是,局域高 温位置不仅依赖于器件设计,还与集成电路的质量有关,往往很难先验...
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