技术编号：9596669
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 随着光通信网络传输和交换容量的逐渐增大，需求光分插复用、光交叉连接等光 通信用关键设备的升级与发展，而这与光衰减器（V0A)、光开关（0SW)等微光学电子机械系 统（M0EMS)基础元器件的发展密不可分。M0EMS因其体积小易集成、响应时间短且利于批 量化制备等特点，近年备广泛得以关注，其驱动方式已发展有电容驱动(平板驱动、梳齿驱 动)、热驱动及磁驱动等多种形式。其中，垂直梳齿驱动M0EMS芯片可以有效克服平板驱动 偏转角度小、固有频率低等不足，已成为M...
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