一种4H-SiC材料8°偏角三维原子结构模型及其构建方法和应用技术资料下载

技术编号:9597989

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本发明涉及一种SiC材料的三维原子结构模型,具体涉及一种4H-SiC材料8°偏 角三维原子结构模型及其构建方法和应用。背景技术 碳化硅由于其临界场强高、禁带宽度大等特点,成为在大功率、高温、高压等应用 领域广受欢迎的半导体材料。与同类硅器件相比,碳化硅器件的其比导通电阻小两个数量 级,工作频率10倍于硅,辐射耐受量10倍于硅,单个器件可承受的电压可达硅器件的10 倍,芯片功率密度可达硅器件的10倍到30倍,与硅模块比,碳化硅模块的体积重量可减少 80%,...
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