技术编号：9599181
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。集成电路是一种微型电子系统，它采用微图形加工技术，把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在半导体晶片或介质基片上从而实现特定的功能。本发明所指的集成电路特指硅基集成电路。当前硅基集成电路工艺典型的主要包括了双极类型工艺和互补金属-氧化物-半导体工艺以及双极-互补金属-氧化物-半导体工艺，还有双极-互补金属-氧化物-半导体-双扩散M0S工艺等。利用该等工艺制作的电路要实现正确的功能，集成电路内部各个器件之间必须相互隔离，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。