技术编号:9602024
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 聚合物,包括共聚物和三元共聚物,当由多种方法制备时具有金属杂质,如果聚合 物将要被用于光致抗蚀剂应用中,则这些金属杂质必须被除去或大幅减少。通常,它们包含 少量的包括它们的钠盐在内的碱性催化剂;当聚合物用作光致抗蚀剂材料时,碱性催化剂 在最终聚合物中是不期望的。聚合物一般经历进一步处理,以在它最终使用之前除去残留 碱性催化剂材料。另外的处理通常需要使包含碱性材料的聚合物与离子交换树脂接触;这 在US7, 312, 281和US5, 288, 850中举例...
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