技术编号：9602621
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。以扫描电子显微镜为代表的带电粒子束装置，向试样上的希望的区域(视野)扫描带电粒子束，与扫描位置对应地记录从该扫描区域释放的带电粒子信号，由此使观察位置图像化。在扫描电子显微镜中，加速电压、探针电流、物镜与试样之间的距离和信号检测器等可自由设定的参数有很多，成为给人留下操作复杂的印象的主要原因。另外，在每次改变这些参数时，需要光轴调整、像散调整等各种各样的调整作业。作为与本发明相关的现有技术文献，有专利文献1和专利文献2。两文献也都涉及带电粒子束装置的自动调...
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