技术编号：9602628
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及液体组合物，涉及从IGZ0的表面清洗和去除含铜附着物而不腐蚀 IGZ0半导体层、含铜布线的液体组合物以及使用了该液体组合物的IGZ0表面的清洗方法， 以及利用该清洗方法清洗的基板。背景技术 液晶显示装置中，构成像素的显示区域使用薄膜晶体管（TFTThinFilm Transistor)的方式在包括电视在内的众多电子材料部件用途中被采用。该TFT结构中，一 般而言，半导体层使用非晶硅，布线材料使用铝或铝合金。但是，伴随显示器的大型化和高 分辨率化...
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