一种微动压式动态流量传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:96032

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本发明属于流体传动及控制领域。目前,工业上可供选用的流量计品种繁多,但能用于动态测量的流量传感器却很少。节流式流量计与电测技术相结合可用来测量动态流量(其频率小于200赫),其中孔板流量计采用电测技术来分析动态流量已在实验上使用,效果良好。但是这种流量计的不可避免的缺点是输出非线性和有持久的压力损失,而且对油液中的污垢也比较敏感;涡轮流量计具有较高的测量精度,但其动态响应频率低于10赫,不宜用来测量动态流量;靶式流量计的响应频率可达300赫,理论上可用于动态测量,然而由于靶式流量计这种二阶有阻尼系统的阻尼很低,因此...
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