技术编号：9609629
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明设及一种基于MEMS工艺的电磁力喷头，无噪音、无热量、无振动、无驱动机 构，应用于高精度、高频率、高可靠性的导电流体的微流动控制领域。背景技术 MEMS制造工艺是下至纳米尺度，上至毫米尺度微结构加工工艺的统称。主要包括 集成电路工艺技术（W薄膜沉积，图形化与刻蚀技术对娃材料进行加工，形成娃基MEMS器 件)、LIGA技术(光刻、电铸和塑铸形成深层微结构的方法制造MEMS器件)。娃MEMS加工技 术的主要特点，对娃衬底材料的深刻蚀，可得到较大纵向尺寸...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。