技术编号：9609631
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS器件的过载保护技术，具体是一种适应高过载环境的MEMS器件保护机构。背景技术MEMS (微机电系统)器件以其体积小、重量轻、成本低、可靠性好、功耗低、测量范围大等优点，被广泛应用于汽车电子、无线通信、消费电子、生物医学、航空航天、工业、农业等领域。随着上述领域的发展，MEMS器件的需求越来越大，并被逐渐应用于比较极端的环境(例如高过载、高冲击等恶劣环境)，由此对MEMS器件的过载保护提出了较高要求。目前，MEMS器件的过载保护主要是通过如...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。