技术编号：9609637
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着电子技术的快速发展和成熟，以及人们对电子设备更轻更薄的极致化追求，迫切需要微加工技术制作出高速和高频的微米级的器件，而微结构图形化作为微加工技术中非常重要的一种也越来越受到重视。现有技术中，微结构图形化技术主要包括相位差增强成像技术、压印技术和光刻技术，其中光刻技术是最为常见的的金属薄膜图形化的加工技术。微结构光刻图形化金属薄膜主要采用电子书光刻的方法，是指在基板上沉积一层金属薄膜，再在金属薄膜上涂布光刻胶，利用图形掩模板掩模，使用经过扫描聚焦的电子束...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。