技术编号：9612087
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。镀膜厚度监控装置是在真空镀膜过程中监控薄膜厚度的光学系统，现有的监控光学薄膜厚度的系统是垂直透射式光学系统(85101725，1987年10月7日公开)，图1是其光路图，在角可变滤光片或单色仪出射狭缝后置一等双孔光阑，且使其双孔的公共中心线垂直通过角可变滤光片旋转轴线(光轴)。反射聚光镜把光源成像于等双孔光阑上，从双孔出射的分别是测量光束和参考光束，双排孔调制盘分别调制参考光和信号光，透镜将等双孔光阑成像于监控片所在的平面上，并且使测量光束通过监控片，而参...
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