技术编号：9613625
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。当在真空处理装置的真空腔室中安装着涡轮分子栗等真空栗时，一般会插入真空阀。专利文献1记载的真空阀使滑动板滑动而相对于流路拔插，由此来进行流量调整。在使阀为完全关闭的状态的情况下，通过使设置着密封环的环状密封体抵接于插入到流路中的滑动板的缘部，来阻断流路。专利文献1记载的密封体包含将所述密封环与环状的活塞加以连接且在周向上设置着多个的螺栓。使用弹簧及压缩空气来驱动该活塞，由此进行密封体对滑动板的抵接及背离。美国专利第5577707号说明书发明内容伴随阀的动作...
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