技术编号：9614941
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在现有技术中针对图案化蓝宝石基板(Pattern Sapphire Substrate，PSS)的测量，主要是采用扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscopy, SEM)来进行。并且，受限于扫描式电子显微镜的解析度，在利用扫描式电子显微镜进行测量时，需将所欲测量的图案化蓝宝石基板的区域切割下来后，才得以进行后续的测量作业。换言之，现有利用扫描式电子显微镜测量图案化蓝宝石基板的方式，属于一种抽样式的破坏性测量，其不仅会破坏待测的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。